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新聞動(dòng)態(tài)

在凈化工程中潔凈室內(nèi)的溫度和氣壓如何控制

  1、潔凈室中的溫濕度的控制
  潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在符合工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的感受。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。
  具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。
  直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以要有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜高于25度。
  濕度過高的話,所產(chǎn)生的問題也會(huì)有很多。相對(duì)濕度大于55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在電路中,就會(huì)引起事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面很難清理。
  相對(duì)濕度越高,粘附就很難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
  2、潔凈室中的氣壓規(guī)定
  對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
  (1)潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
  (2)潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
  (3)相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。
  壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄風(fēng)量通過潔凈室的縫隙時(shí)的阻力。
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